Интегрираният почистващ препарат за раздробяване на вафли, разделяне и вмъкване (раздробяване на вафли, разделяне и почистване) е специално проектиран за автоматично почистване, отстраняване на големи частици, обезпаразитяване, нарязване, поставяне и химическо почистване на полупроводници. Това оборудване е подходящо за 8-инчови вафли и разполага с напълно автоматизиран процес, включващ хранене, измиване на спрей, ултразвуково почистване, отопление, дегустиране, отстраняване на плочи, автоматично нарязване, вмъкване на касети и химическо измиване на каустик.
Подредените вафли са разделени една по една, използвайки механизъм за всмукване на чаша. Повредените вафли се идентифицират и отчитат от CCD система, преди да бъдат подадени в 8-инчова касета за вафли. Пълната касета се поставя автоматично и транспортирането/разтоварването на касети от раздрождащата секция се обработва от автоматичен манипулатор. Манипулаторът подрежда пълната касета и я изпраща в последващата станция за хранене на почистващата машина. След това манипулаторът на почистващата машина транспортира касетата през два химически резервоара за почистване, два резервоара за изплакване и процес на изсушаване на горещ въздух преди окончателното разположение и извеждане. Цялата система е проектирана като непрекъснат процесен канал, като изисква оператора само да зарежда детайли и касети.
Интегрираният почистващ препарат е оборудван с три скенера за баркод за проследяване на номера на процесите и идентификатори на касети при зареждане, почистване и разтоварване на позиции. Управлението на производството на вафли работи въз основа на тези кодове. Сензорният екран включва предно - монтирана карта с памет за лесно извличане на данни, а записаните данни могат да бъдат директно достъпни от хост компютъра. Топлинен принтер в процеса на зареждане на касета отпечатва марки за работни поръчки.
Основните електрически компоненти се внасят от Omron, Mitsubishi, Festo, SMC и Keyence, като се гарантира надеждна ефективност, дълъг живот на обслужването и стабилна работа.
Параметри на продукта
Производствен поток:
Load → QDR → Ultrasonic Alkali Cleaning → Degumming Tank → Splitting Tank → Inserting Mechanism → Scan & Transportation Mechanism → (Ultrasonic Alkali Tank 1 → Ultrasonic Alkali Tank 2 → Rinsing Tank 1 → Rinsing Tank with Slow Lifting 2 → Drying Tank 1 → Drying Tank 2 → Unload → Buffer)
Основни материали:
Метална рамка; Резервоарите използват SUS316 Огледални плочи.
Транспорт:
Роботизиран транспорт на ръцете.
Характеристики и приложения на продукта
Проектиран за раздробяване на вафли, разделяне и почистване.
Подробности за продукта
Съвместим с два вида детайли: сгъстяване и нарязване (рязане на диамант или рязане на каша).
- Капацитет:360 парчета/час.
Сценарии на кандидатстване
◇ През април 2024 г. се пуска в експлоатация на вафлата за раздробяване, разделяне и почистване и започва работа на сайта на клиента за CQAST.
◇ През ноември 2024 г. и януари 2025 г. бяха пуснати в експлоатация две допълнителни единици и започнаха да работят на сайта на клиента за JRH.
◇ Това е ключов продукт за полупроводниково оборудване Shengda.
Популярни тагове: Интегриран почистващ препарат за разцепване
